德國Thyracont真空計在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
德國Thyracont公司致力于研發(fā)和生產(chǎn)智能真空測量儀表以及控制儀表
我們的產(chǎn)品組合包括真空傳感器、真空傳感器、真空計、真空開關(guān)、控制器以及附件和真空組件。Thyracont真空計包括了薄膜規(guī),電容規(guī),電阻規(guī),皮拉尼,熱陰極,冷陰極,以及復(fù)合真空規(guī),滿足不同量程的需求。
圖拉特thyracont真空產(chǎn)品應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):
晶圓鍵合是半導(dǎo)體技術(shù)中的一個程序步驟,將兩個晶圓連接在一起。對于某些應(yīng)用,如芯片傳感器的封裝,該過程是在真空下進行的。
加載時,粘結(jié)室通過粗加工泵在旁路連接中抽真空,直到達到真空度,此時系統(tǒng)可以平穩(wěn)切換到高真空泵。然后在高真空條件下進行粘合過程。在抽真空過程中,必須精確控制旁路中的絕對壓力,以防止損壞高真空系統(tǒng)。在晶圓鍵合過程中,必須監(jiān)測腔室內(nèi)的真空度,以保證所需的結(jié)果。
VSC43MA4型粗真空傳感器用于控制旁路循環(huán)。其陶瓷傳感器以所需的精度測量絕對壓力,并且?guī)缀鯚o需維護。粘合過程的過程壓力通過帶有皮拉尼/冷陰極組合傳感器的VSM傳感器進行監(jiān)控。
緊湊型VSC43壓電傳感器用于測量粗真空范圍內(nèi)的絕對壓力。由于其耐用的陶瓷傳感器,它對污垢和污染幾乎不敏感
耐化學(xué)腐蝕:帶氟橡膠密封的陶瓷傳感器
可靠:高可靠性和長期穩(wěn)定性
獨立:測量不受氣體類型的影響
快速:響應(yīng)時間短,可達 20 ms
堅固耐用: 耐臟污
可根據(jù)要求提供控制器:適用于 Thyracont 1 和 2 通道控制器 VD6 / VD12
標準化線性輸出信號 0-10 V(四線)或 4-20 mA(兩線)
帶皮拉尼/冷陰極傳感器的VSM真空傳感器:
· 長壽命:通過皮拉尼自動控制冷陰極,冷陰極在低壓下接通可延長使用壽命,對空氣涌入不敏感
· 可靠: 出色的點火性能
· 低雜散磁場
· 超壓穩(wěn)定:過壓穩(wěn)定性高達 16 bar
· 金屬密封不銹鋼傳感器單元,適用于特高壓應(yīng)用(浸出率<5e-10毫巴升/秒)
· 防護等級高達 IP54
· 多種接口:數(shù)字RS485接口加上0-10 V輸出信號,EtherCAT或PROFINET。
· 繼電器開關(guān)點:兩個獨立的、無電勢的繼電器開關(guān)點